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AVI-400M主动除振台

AVI-400M主动除振台

产品时间:2020-07-07

访问量:168

厂商性质:代理商

生产地址:瑞士

简要描述:
AVI-400M主动除振台广泛用于蔡司ZEISS、莱卡Leica、日立HITACHI、日本电子JEOL等品牌的大型电子显微主动除震台,以及半导体设备主动除震台、电子天平精密设备主动除震台。

AVI-400M主动除振台

 

品牌:HERZ

型号:AVI-400M

用途:广泛用于蔡司ZEISS、莱卡Leica、日立HITACHI、日本电子JEOL等品牌的大型电子显微主动除震台,以及半导体设备主动除震台、电子天平精密设备主动除震台。适用于各类大型显微镜AEMSEMATMTEM。

 

应用范围: 

  • 超高真空扫描探针显微镜(UHV-SPM)

  • 光刻工具

  • 高精度计量工具

  • 光谱仪器

  • 升级选项:

  • 可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果,隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

 

产品亮点:

  • 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, >200Hz被动隔振)

  • 5-20ms响应时间                                                                   

  • 低频隔振性能优异,安装和使用简单

  • 系统主动检测输入振动并动态消除 

  • 紧凑、模块化的多功能设计 

  • 稳定性高,能无故障连续使用多年

  • 无低频共振、无空气要求

 

AVI-400M主动除振台

技术参数:

  • 型号:AVI-400M

  • 系统配置:独立隔振装置 & 控制装置

  • 主动隔振范围:大致为1.0 Hz - 200 Hz 

  • 被动隔振范围:大致为200 Hz以上

  • 显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 

  • LEDs 指示输出阶段的过载情况。

  • 单元尺寸(每个):190 x 720 x 112.5 Hmm

  • 控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm

  • 隔振单元重量: 20kg

  • 负载能力:800 kg (同等/低重心) 

  • 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

  • 功耗:通常18W

  • 温度范围:5℃ - 40℃

  • 相对湿度:10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)

  • 室内/室外使用:仅用于室内

 

主动除震台隔振效果:

性能对比图:SEM的研究人员在两种独特条件下进行成像:不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时,所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动除震台/除震台/除振台AVI-400M

 

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